エクセルマクロで大量データ作成の件

エクセルマクロで大量のデータを作ろうとしています。100MBを超えたら、別ファイルに移して名前をつけて保存し、リソースを解放しながらプログラムを動かし続けてみていますが、それでも処理が進むと徐々に処理速度が遅くなってしまいます。 処理速度が遅くならないようにするコツを教えて頂きたく、宜しくお願いします。